中½科学院微电子研究所
ISE－TCAD
初级培训资料
序言
本人文笔较差，因此用日常语言进行说明。本文只做抛砖引玉，希望高手给
予指点和补充。本手册是个人经验的总结，主要以
ISE9.0
版本为例说明，配合
½件手册看会有更多收获。
该手册适合有工艺和器件基础并有一定电脑常识的人
阅读。
½者：金伯利岩
QQ：1585568 email: development@sohu.com
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第一章
认识
ISE
刚开始接触计算机模拟是在
Medici
和
ISE
之间做选择，由于
ISE
的界面看
似很友½，很图½化因此选择了
ISE，½是经过一番努力发现并不是那么回事，
ISE
只是把很多工具用
GENESISe
平台连在了一起，
还制定了½多接口的规则，
不可否认这种做法对大规模模拟及多种条件下的实验很有½处，不过，这也½初
学
ISE
的人感到很迷惑，什么节点什么树结构等等，不同工具的接口又需要以
节点来连接。总而言之，出学者不知道从哪下手才½，因此本手册以应用例子为
主串讲一下该工具。
首先要明½什么是模拟：
说到底模拟就是利用一些公式描述一些物理过程，最简单的说：一个人从A
地走到B地，模拟这个过程首先½要知道人是怎么走的，最简单的是匀速直线运
动，那么这个过程就简单了，用公式P
AB
＝v×t就可以描述这个人在AB之间的什
么地方了，如果是非匀速直线运动就复杂点了，如果是曲线非匀速运动就更复杂
了，如果这个曲线又是在空间中，运动中还要受到外力的阻挠，那么这个过程要
描述起来就复杂了，甚至需要很多公式一起才½描述。半导½工艺和器件的模拟
其实也是这样，用公式表述其物理过程，利用计算机来计算这些公式，通过数学
算法最终得到½想知道那个结果。
关于
ISE
模拟：
在讲述
ISE
的最开始，先引用一个结构图（图
1）
，这个图不要求现在就看
懂，不过学的过程中不断的看这个图，慢慢就会懂了。先初步讲解一下，ISE 中
主要包括几大模块，工艺模拟、½格优化和器件结构创建、器件模拟和数据的输
出显示模块，其中工艺模块、器件模拟模块和数据输出显示模块是最主要的，½
格优化是一个辅助工具，在其他模拟工具如
Medici
和
Silvoco
½件中½是集成
在工艺和器件模拟的模块中的。因此这是
ISE
比较特殊的一个地方（不过其工
艺中也有½格划分功½，
而且更新版本中更重视该方面的½力尤其是
3D）
这样
，
做为得就是½更½的划分½格和去除工艺中的不完美½格½够提高模拟的收敛
性和运算速度。每一个模块½有自己的输入文件（一个或几个）
，这些输入文件
可以是自己写的，也可以是别人的结果，也可以是前面的模拟工具的输出文件。
½者：金伯利岩
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每个模块还包含输出文件，这些输出文件包括模拟的结果或中间过程，系统模拟
的一些信息，甚至还有压缩文件，具½的说明可以参考½件手册。此外对于如½
看½件手册本人还有一些经验，
首先要看一下介绍
GENESISe
这个平台的手册，
以便了解整个平台的工½过程，
然后可以主要的看一下工艺模拟、
器件模拟部分，
也就是
dios，floops
和
dessis
部分，特别是
dessis
部分一定要仔细看，其它手
册可以½字典来查，需要的时候应用
ctrl＋F
来查找需要的内容。
图
1
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GENESISe
平台界面介绍：
和手册一样先列出一个界面图，至于各部分的功½是什么，大家可以看手册
中
GENESISe
部分的具½说明，现在不想看也没关系，如果想更深入学习，还
是要看一下，下面跟着本手册往下走就可以先½验一下模拟的过程了。我们先根
据½件中自带的简单例子来建立一个自己的模拟过程。
这个例子在
9.0
版本中的
目 ½ 为
Example_library――GettingStarted――Dios
， 名 称 为
GettingStarted_simple。为了½够进行修改我们先把这个文件夹 copy
到自己的
isedb
下（如果½的½件中不包含这个例子也没关系，跟着本手册介绍仍然可以
建立自己的模拟流程，下面一段过程½也可以跳过不读）
，在该目½下为了½管
理可以自己再建立文件夹，也可以不建立。建立的方法是：右键点击
isedb
文件
夹，在弹出的菜单中选择
Folder，如图 2：
图
2
在随后出来的菜单中选择
New Folder，然后就新建一个文件夹，随后对其½名，
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½名后回½确认，不同版本，方法可½不同，自己摸索去吧。
最后的结果如图
3：
图
3
双击黄色的小例子，可以在右面的窗口中打开它。出现了图
4
中的东西：
图
4
这就是这个例子中的内容，可以看到，该例子只包括一个
Dios
工具，也就是一
个
2D
的工艺模拟工具。右键这个图表弹出一个菜单，如图
5
图
5
在
Edit Input
中还会有菜单，½是只有后面两项是可以选择的，图
6：
图
6
也就是说该例子只有文本的输入文件，没有用图½界面输入工具
ligment，说到
ligment
还得先说一下，½然
ISE
看似图½界面其实其模拟工具还是以文本为主
要输入文件的，图½化只½处理最简单的模拟，还有另一种理解就是，利用图½
化的工具如
ligment
来½成一个初步的文本框架，然后基于该框架再进行更深入
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