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微电子制造工艺流程

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标签: 微电子制造、工艺流程

微电子制造、工艺流程

微电子制造、工艺流程

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文档解析

这份文件是华中科技大学吴一平教授关于电子工业专用设备,特别是微电子制造工艺流程的讲座资料。内容涵盖了微电子制造的基础知识,包括光刻工艺、光刻机的结构和工作原理,以及CMOS工艺流程。详细介绍了CMOS晶体管的工作原理,包括N-MOS和P-MOS电路的结构和功能。此外,还深入探讨了CMOS工艺流程的各个步骤,如浅槽隔离、阱形成、栅形成、源/漏形成、化学气相淀积、离子注入、快速热处理等关键技术。文档还包括了各种工艺步骤的详细图解,如生长垫氧化层、沉积硅氮化物层、光刻胶图案化、刻蚀过程、化学机械抛光等。这些内容对于理解微电子制造技术至关重要,尤其是对于学习或从事半导体制造领域的专业人士。

评论

蛙蛙蛙
很好的PPT资料,谢谢分享。学习了!!
2022-05-15 21:57:49
3ABC
很好的PPT资料,谢谢分享。
2020-09-30 12:51:30
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