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ESD物理与器件 (Steven H.Vold)

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标签： ESD

本书系统地介绍了静电放电（ESD）物理理论及器件设计，并给出了大量实例，将ESD理论工程化。本书主要内容有：ESD中的静电及热电物理学理论及模型，ESD用半导体器件物理及结构，ESD中衬底、阱、隔离结构，电介质、互连及SOI等相关技术及应用。

本书为作者的ESD系列专著的第一本，对于专业模拟集成电路及射频集成电路设计工程师，以及系统ESD工程师具有较高的参考价值。本书可以作为电路设计、工艺、质量、可靠性和误差分析工程师的工具书，也可以作为电子科学与技术、微电子科学与工程和集成电路设计，尤其是模拟集成电路设计及射频集成电路设计专业高年级本科生及研究生的参考书。

本书非常注重理论联系实际，提供了大量器件设计实例。

作者简介

译者序

前言

致谢

第1章静电和热电物理学

第2章热电方法和ESD模型

第3章半导体器件和ESD

第4章衬底和ESD

第5章阱、衬底集电极和ESD

第6章隔离结构和ESD

第7章漏工程、自对准硅化物与ESD

第8章电介质与ESD

第9章互连和ESD

第10章绝缘体上硅（SOI）与ESD

第11章硅锗与ESD

第12章微结构与ESD

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