引信中应用的加速度传感器的研制

讨论了应用于引信中的高g微阵列式加速度传感器的设计理论、布阵方法和微加工工艺。讨论过程中，针对测量不同的加速度值，利用了不同的设计方法和加工工艺及二维传感阵列的布阵设计上的特点，将微加工中三维加工工艺与平面加工工艺相结合，利用体加工技术和高深宽比刻蚀技术，研制出了微阵列加速度传感器的样品。经测试表明符合使用要求，其结果为实用化奠定了基础。关  键  词  微传感器;  阵列式;  加速度;  微加工技术Abstract  In  this  paper  the  method  of  the  design  and  the  manufacture  for  the  high  g  micro  sensor  array  of  the  acceleration  for  the  use  of  the  fuse  system  are  presented  systematically,  synthetically.  It  is  applied  the  different  method  of  the  design  and  the  technique  for  measuring  the  different  value  of  the  acceleration,  and  had  the  different  sensor  array  in  the  manufacture  of  the  micro  sensor  array  of  the  acceleration.  It  is  used  the  3-D  technique  union  of  the  2-D  technique  of  the  integrated  circuit.  This  sample  meet  the  demand  which  is  based  upon  this  paper  for  the  application.Key  words  micro  sensor;  array;  acceleration;  micro  machining  technologyManufacture  of  Micro  Sensor  of  Acceleration  in  Fuse  System