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激光位移传感器在精密测厚中的应用
-非常小的测量光斑,是点光面积,如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面积约1mm,它比面积型非接触电容、电涡流传感器,对被测体面积几乎无要求,适合测量非常小面积尺寸厚度;
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