MEMS移相器极其在微型通信系统中的应用

                        MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用第  32  卷第  4  期  2002  年  8  月  文章编号:  100423365  (  2002)  0420241204微  电  子  学M  icroelectron  icsV  o  l132,  №  4  A  ug  12002M  EM  S  移相器及其在微型通信系统中的应用卿　健,  石艳玲,  赖宗声,  朱自强(  华东师范大学　电子科学技术系,  上海　200062)　  摘　要:  　从传统移相器的构造和原理出发,  进一步分析了  M  EM  S  移相器的结构、  特性。  结果表  明,M  EM  S  移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、  损耗小、  成本低、  频带宽、  易于集成等突出  优点。随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展,M  EM  S  移相器介质损耗大幅度降低,  将能与信号处  理电路一同集成于硅衬底上,  便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化。  关键词:  　  M  EM  S;  移相器;  P  I  N  二极管;  通信系统  中图分类号:  　TN  492;  TN  958192  　  文献标识码:  　AM  EM  S  Pha  se  Sh  if  ter  and  Its  Appl  ica  tion  in  M  in  i-Comm  un  ica  tion  System  sQI  N  G  J  ian,  SH  I  Yan  2ling,  LA  I  Zong  2sheng,  ZHU  Zi2qiang(D  ep  t1  E  lectron  ics  S  cience  and  T  echnology  ,  E  ast  C  h  ina  N  orm  a  l  U  n  iversity  ,  S  hang  ha  i  200062,  P  1R  1C  h  ina  )　Abstract:  　  T  he  structu  re  of  M  EM  S  p  ha  se  sh  ifter  and  its  cha  racteristic……