此文档是关于触摸屏黄光制程的各种问题集合。
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本资料来源:中华液晶网全球平板显示产业领航者 咨询广告人才招聘求职 作为目前最为主流的触摸屏制作工艺,黄光制程被普遍应用在触摸屏厂商的生产过程 中其实黄光制程在生产过程中,操作人员会遇到各种各样的问题,本文将就根据生产 过程中遇到的问题及解决办法整理成集,以供参考 PHOTO 流程 答:上光阻曝光显影显影后检查CD量测Overlay量测 何为光阻其功能为何其分为哪两种 答:Photoresist光阻是一种感光的物质,其作用是将Pattern从光罩Reticl e上传递到Wafer上的一种介质其分为正光阻和负光阻 何为正光阻 答:正光阻,是光阻的一种,这种光阻的特性是将其曝光之后,感光部分的性质会改 变,并在之后的显影过程中被曝光的部分被去除 何为负光阻 答:负光阻也是光阻的一种类型,将其曝光之后,感光部分的性质被改变,但是这种 光阻的特性与正光阻的特性刚好相反,其感光部分在将来的显影过程中会被留下,而没 有被感光的部分则被显影过程去除 什幺是曝光什幺是显影 答:曝光就是通过光照射光阻,使其感光显影就是将曝光......
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