氟离子敏场效应管的研制

阐述了一种氟离子敏场效应晶体管(FISFET)  型传感器的结构和工作原理。它是在pH2ISFET传感器的基础上用PVC  方法把离子敏场效应晶体管和氟化物敏感膜相结合,制成氟离子敏场效应晶体管。该传感器具有全固态化‰体积小的特点。实验表明该传感器的灵敏度为50mV/  C  ,  响应时间:小于1min  ,相关系数为0.  984  2  ,对氟化物的检测范围:1  ×10  -  6～1  ×10  -  1  mol/  L。关键词:  离子敏场效应晶体管;  氟;  敏感材料Abstract  :  The  structure  and  basic  working  principle  of  a  type  of  fluoride  ion  sensitive  field  effect  transistor(FISFET)  are  presented.  It  is  the  base  of  hydrogen  ion  sensitive  field  effect  transistor  ,used  fluoride  sensitive  membrane  as  ISFET  gate.  FISFET  has  a  lot  of  advantages  ,such  as  minimal  size  ,solid  structure.  some  experiments  have  been  done  with  the  FISFET,  The  results  show  that  the  characteristics  of  the  FISFET  sensor  are  sensitivity  :50  mV/  C  ,resporse  time  :1min  ,correlation  coefficient  :0.  984  2  ,measurement  range  :10-  6～10  -  1  mol/  L.Key  words  :  ion  sensitive  field  effect  transistor(  ISFET)  ;  fluoride  ;  sensitive  material