微机电系统的发展与应用

微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。关键词  MEMS  传感器  执行器  纳米技术  工艺Abstract  ：  MEMS  is  a  fast  developing  field  related  to  manydisciplines  at  present  times.  The  origin  and  developmentprocedure  of  MEMS  is  mainly  introduced  in  this  paper,  adoptedmaterial,  processing  technology  and  related  disciplines  arediscussed,  the  classification,structure  and  features  of  device  andits  practical  application  in  engineering  and  technology  are  alsoexpounded  in  detail,and  its  developing  tendency  and  profoundinfluence  on  many  disciplines  are  also  pointed  out.Key  Words：  MEMS  Transducer  Execute  unit  Nanotechnology  Technics