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基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计
应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS 带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF 的HFSS 软件模拟分析了滤波器的损耗参数，并应用ANSYS 软件分析复合结构的热应力分布，得出了阻带中心频率在18GHz 的MEMS 带阻滤波器件，提供了一些有意义的理论分析及应用。
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