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用于差动电容传感器的高分辨率电路的研究
本文提出了一种用于差动电容传感器的电路, 采用弱信号检测技术, 将被测微小电容变化量转换成直流电压信号. 输出电压与差动电容变化量成线性关系, 经过单片机处理后能自动补偿偏差电容和电路的漂移. 实验表明,最小被测电容变化量可达8 fF, 灵敏度可达3. 82×1011V öF. 实验结果和理论分析具有良好的一致性.关键词: 电容传感器; 电容ö电压转换; 差动测量; 偏移补偿
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