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用于差动电容传感器的高分辨率电路的研究

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标签: 用于差动电容传感器的高分辨率电路的研究

用于差动电容传感器的高分辨率电路的研究

本文提出了一种用于差动电容传感器的电路,  采用弱信号检测技术,  将被测微小电容变化量转换成直流电压信号.  输出电压与差动电容变化量成线性关系,  经过单片机处理后能自动补偿偏差电容和电路的漂移.  实验表明,最小被测电容变化量可达8  fF,  灵敏度可达3.  82×1011V  öF.  实验结果和理论分析具有良好的一致性.关键词:  电容传感器;  电容ö电压转换;  差动测量;  偏移补偿

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