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压电陶瓷
位移机构
〔摘要〕本文介绍了压电陶瓷的微位移机构系统并对机构来统的精密驱动电源进行了深入的研究、提 出了一种新型的微机控制的开关式精密驱动电源。该电源克服了传统的串联型晶体管稳压电源功耗大、效率 低和散热性差等缺点实现了输入电压为一时、输出电压在一范围内连续可调具有 的高分辫率和较为理想的静特性, 其线性相关系数为, 纹波电压小于士, 电源在范围 内频响特性很好。 关键词压电陶瓷微机控制开关精密驱动
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