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运动控制器
本内容详细介绍了GALIL各种运动控制器的应用案例 晶片定位机 1. 系统概述 在半导体工业中,硅晶片在从一个工序移动到下一个工序的过程中是被装在盒子里的。 当盒子到达某一位置时,晶片搬运机器人就把晶片从盒子里转移到加工模块,一次一片。机 器人必须跳过没有晶片的位置或者那些一个槽里不止一片晶片的位置(双槽)。为了获得这 些位置信息,在机器人搬运这些晶片之前,晶片在盒子中的位置需要被定位。
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