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MSC1210在微位移传感器系统中的应用
微位移传感器结构主要借鉴实验室的机器人六维腕力传感器结构特点，在设计中同样采用双E 型膜片结构[4]。首先用改进的二维力传感器来检测作用于物体上的X 和Y 两维上的力信息，再将其换算成平面的位移信息。同时，它在机器人六维力传感器基础上改变了相关的结构参数，如量程和灵敏度等，以便实现对微小的力和位移信息的获取。
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