微型反射式共焦光纤传感器研究

基于光学系统信息传输不变性原理,  讨论了微型反射式共焦光纤传感器的高分辨率性质。该传感器的光纤末端头起到了共焦扫描光学显微镜的点光源和点探测器的功能,  从而使视场减小,  信噪比提高,  抗干扰性增强。它独特的高轴向分辨率特性,  可用于微观形貌、外形尺寸和曲面轮廓等方面的高精度检测,  同时为狭小空间内尺度测量等大量极限测量和不可测问题提供了解决思路。关键词:  共焦显微成像;  光纤传感器;  自聚焦透镜;  光学信息Abstract:  Based  on  the  concep  t  of  the  info  rmat  ion  invariance  of  an  op  t  ical  system  ,  the  p  roperty  of  the  h  igh  reso  lut  ion  of  the  reflect  ive  confocal  op  t  ical  senso  r  is  discussed.  The  characterist  ic  of  po  int  ligh  t  source  and  po  int  detecto  r  of  confocal  scanning  op  t  icalm  icro  scopy  caused  by  the  end  of  th  is  senso  rmakes  the  view  field  smaller,  increases  signal  to  no  ise  rat  io,  imp  roves  the  ant  i2interference  ability.  Because  of  the  special  characterist  ic  of  h  igh  axis  reso  lut  ion,  the  senso  r  can  be  used  in  the  p  recise  measurement  of  surface  p  rofile,  shape  dimension  and  curve  contour,w  h  ich  p  rovides  a  suggest  ion  fo  r  a  great  deal  of  di2  mensionalmeasurement  in  small  space.Key  words:  Confocalm  icro  scopy;  F  iber2op  t  ic  senso  r;  Graded  index  (GR  IN  )  lens;  Op  t  ical  info  rmat  ion