一种高分辨力角位移传感器量程扩展方法

提出一种采用多探测光路的角位移量程扩展方案,  可以在不降低分辨力的条件下,  将量程扩展多倍,  使传感器同时具有高分辨力、大量程的优点。结果表明,  量程扩展到360\"  ,  两光路的分辨力分别为0.  004\"和0.  005\"。关键词:  角位移传感器;  临界反射;  量程扩展Abstract:A  scheme  fo  r  extending  measurement  range  of  the  angular  disp  lacement  senso  r  is  p  resented.  The  measurement  range  of  the  senso  r  can  be  extended  w  ithout  reducing  measurement  reso  lut  ion  by  us2  ing  mult  i2receiving  op  t  ical  units,  and  the  senso  rmeet  some  p  ract  ical  app  licat  ionsw  ith  h  igh  measurement  reso  lut  ion  and  large  measurement  range.  The  results  show  that  itsmeasurement  range  is  360\"  and  reso2  lut  ion  are  0.  004\"  and  0.  005\"  respect  ively.Key  words:A  ngle  senso  r;  Crit  ical  reflect  ion;  M  easurement  range