应晶体管烧毁机理的研究：Ⅱ.射频烧毁

                        应晶体管烧毁机理的研究：Ⅱ第ｌ  ３  卷  第  ４期　１  ９  ９  ４  年１  ２  月　真  空与低  温　Ｖａ  ｃｕ  ｕｍ  ＆  Ｃ  ｒ  ｙｏｇ  ｅ  ｎ  ｉ  ｃ  ｓ  　１  ８７  　微  波Ｇ  ａ  Ａ  ｓ  功率场效  应晶体  管  烧毁　７  　，  ｌ  ；  ｆ  　机理  的研  究  ：  Ⅱ  ．  射  频烧毁　＿  －  －  －  ＿  　  ＿  ●  ●袁  泽  亮　  范垂  祯　＿  －  ＿  ＿  －  ＿  ＿  －  －  一  　－  　，  一  ｆ  　  ９  ，  　  　  ０  　（兰州物理研  究所  ）  　Ｇａ  Ａ  ｓ  　  ｐ  ｏ  ｗ  ｅ  ｒ  　  ＦＥ  Ｔ  ｓ  ：  Ｐ  ａ  ｒ  ｔ  Ⅱ．Ｒ  Ｆ  　  ｂ  ｕ  ｒ  ｎ  ｏ  ｕ  ｔ  　Ｙｕ  ａ  ｎ  　  Ｚ  ｅｌ  　  ｉ  ａ  ｎ  ｇ  　  Ｆａ  ｎ  　  Ｃｈ  ｕ  ｉ  ｚ  ｈ  ｅ  ｎ  　（  Ｌ  ａ  ｎ  ｚ  ｈ  ｏ  ｎ  　  Ｉ  ｎ  ｓ  ｔ  ｉ  ｔ  ｕ  ｔ  ｅ  　  ｏ  ｆ  　  Ｐ  ｈ  ｙ  ｓ  ｉ  ｃ  ｓ  ）７  　／  －  ／  　Ａｂ  ｓ  ｔ  ｒ  ａ  ｃ  ｔ  ，  Ｍｉ  ｃ  ｒ  ｏ  ｗａ  ｖ  ｅ  　  Ｇａ  Ａｓ  　  ｐ  ｏ  ｗｅ  ｒ  　  ＦＥＴ  　  ｃ  ｈ  ｉ  ｐ  ｓ  　  ｆ  ａ  ｂ  ｒ  ｉ  ｃ  ａ  ｔ  ｅ  ｄ  　  ｂ  ｙ  　  Ｕ  Ｓ  　  ｗｈ  ｉ  ｃ  ｈ  　  ａ  ｐ  ｐｅ  ａ  ｒ  　ｂｕ  　  ｒ  ｎ  ｏｕｔ  　ｄ  ｕｒ  ｉ  ｎｇ  　ｔ  ｈｅ  　ＲＦ　  ｔ  ｅ  ｓ  ｔ  ｌ  ａｇ  　ａ  ｒ  ｅ  　ｉ  ｎｖ  ｅ  ｓ  ｔ  ｉ  ｇａ  ｔ  ｅ  ｄ  　ｂ  ｙ  　ｍ  ｅ  ａ  ｎｓ  　  Ｏｆ  　ｓ  ｃａ  ｎ  ｎｉ  ｎｇ  　ｅ  ｌ  ｅ  ｃ  ｔ  ｒ  ｏｎ  　  ｍｉ  ｃ  ｒ  ｏｓ  ｃ  ｏｐｙ  （ＳＥＭ  ）ａ  ｎｄ  　Ａ  ｕｇ  ｅ  ｒ  　  ｍｉ  ｃ  ｒ  ｏｐｒ  ｏｂ  ｅ（ＳＡ  Ｍ  ）．  Ｔ  ｈ  ｅ  　ｐｈｙｓ  ｉ  ｃ  ｓ  　  ｐｒ  ｏｃ  ｅ  ｄｕｒ  ｅ  　ａ  ｎｄ  　  ｍｅ  ｃ  ｈａ  ｎｉ  ｓ  ｍ　……