高精度光刻机在大规模集成电路上的应用

标签：集成电路光刻机

微细图形加工技术是集成电路向高集成化发展的关键, 其中图形曝光对准是很主要的。由于接触式光刻机的精度高、设备造价低, 所以在集成电路制造中被广泛采用。但是, 随着大规模集成电路不断向高集成化、微细化发展又出现了各种问题。

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