为了有效的在线测量水膜,本文采用低成本的非接触式、高精度电容测微仪作为水膜厚度的传感器件,采用虚拟仪器进行测量状态的分析,并根据测量结果给出控制信号。电容测微仪将水膜厚度变化信息转换为-10V~+10V的电压变化,通过A/D采集卡(如ZTIC8310,ZTIC6319等)进入计算机系统,虚拟仪器将实时采集的水膜电压信息转换为水膜的绝对厚度值,并实时显示和保存,以供更深一步的分析。本测控系统准确的测出运动水膜的厚度信息,精度0.01μ,解决了水膜测量的难题。采用高精度电容测微仪及虚拟仪器进行测量方法成本低、使用方便,容易扩展到其他测控领域。虚拟仪器(Virtual Instrument)技术[1]是八十年代以来随着计算机技术及仪器仪表技术的发展而出现的新型测量与控制技术。在自动化、测试仪器仪表行业中,虚拟仪器概念的出现,是对传统仪器概念的重大突破。软件就是仪器的口号,彻底打破了传统仪器由厂家定义,用户无法改变的模式。仪器的功能可随用户的要求更改,使得昂贵的仪器可以在普通的PC机上实现。并且一台PC可以实现多种仪器,从而降低了仪器费用。电容传感器属于非接触相对线性测量[6]。在电容传感器的测量范围内,线性度很好,可以进行与距离相关的各种非接触测量。线性度、分辨力和灵敏度是评价电容传感器的重要性能参数,用户尤其关心的是线性度的大小。图1给出了电容测微仪的工作原理。
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