温教授的热岛itedResonan吨实货iconM微结构压力传感器

针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件;  采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器,  分析了其工作机理;  依幅值、相位条件讨论了该谐振式微传感器的闭环自激系统;  建立了微传感器的温度场模型和热应力模型,  并进行了仿真计算与分析。关键词:  热激励;  谐振式传感器;  压力传感器;  硅微结构Abstract:  　A  cco  rding  to  the  sensing  st  ructure  of  a  p  ract  ical  silicon  resonant  p  ressure  m  icro  sen2  so  r  w  ho  se  p  relim  inary  sensing  unit  is  a  square  silicon  diaph  ragm  and  the  final  sensing  unit  is  a  sili2  con  beam  resonato  r,  its  operat  ing  mechanism  is  analyzed.  The  thermal  resisto  r  acts  as  the  excited  unit,  and  the  p  iezo  resist  ive  unit  acts  as  the  detecto  r,  fo  r  the  abovem  icro  senso  r.  By  using  the  am2  p  litude  and  phase  condit  ions,  the  self2excit  ing  clo  sed  loop  system  is  invest  igated  based  on  the  oper2  at  ing  mechanism  fo  r  the  abovem  icro  senso  r.  The  temperature  p  rofilemodel  and  the  thermal  st  ress  model  are  established  fo  r  the  beam  resonato  r  of  the  m  icro  senso  r.  Mo  reover,  the  thermal  featureis  simulated  and  analyzed  fo  r  the  above  m  icro  senso  r.Key  words:  　thermal  excitat  ion;  resonant  senso  r;  silicon  m  icro  st  ructure;  p  ressure  senso  r