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声光固体光学位置传感器
本文描述了基于相位测量有源三角测量技术的声光（ AO）固体光学位置传感器。这种传感器具有广阔的应用范围。给出了传感器的系统结构、工作原理、特点和3-D 表面分布测量结果。关键词：有源三角测量技术；表面分布；AO 位置传感器；干涉仪。
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