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微电子机械系统(M EM S)中的铁电器件

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标签: 微电子机械系统

微电子机械系统

M

微电子机械系统

EM

微电子机械系统

S

S

中的铁电器件

S

提出了一种将铁电材料与M  EM  S  集成的新趋势,  并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器。关键词 M  EM  S 铁电材料 微传感器 微执行器

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