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压电陶瓷
微操作手是微操作机器人的重要组成部分,首先介绍了国内外研制的几种典型微操作手。在此基础上,对于微操作手的关键技术,从机构、驱动、传感、检测几个方面进行了论述,在机构上,介绍了微位移定位机构的特点;在驱动方式上,论述了压电陶瓷的驱动方法;在微位移检测上,介绍了几种纳米微位移检测手段。最后,阐述了微操作手的发展趋势:微型化、集成化、智能化,达到纳米级或更高的定位精度。
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