乱序四点法直线误差分离技术

提出了一种新的时域乱序四点法直线误差分离技术,  它通过对4  个特定布置传感器的输出数据进行冗余组合和乱序递推,  能快速精确地分离出工件的直线形状误差和工作台的直行误差运动.  该方法既避免了频域三点法中必须经过正反两次Fou  rier  变换从而使计算时间相对较长的问题,  又有利于在线检测与补偿加工;  同时,  既克服了时域逐次三点法传感器之间的间距必须等于采样间隔的限制,  又可以获得更为密集的采集数据,  达到更高的分离精度.关键词:  乱序四点法;  逐次三点法;  频域三点法;  直线形状误差Abs  tra  c  t:  By  m  ean  s  of  the  redundan  t  com  b  inat  ion  and  unconven  t  ional  sequen  t  ial  recu  rsion  on  the  ou  tpu  t  s  f  rom  fou  r  p  robes  arranged  in  special  in  tervals,  st  raigh  tness  erro  r  of  the  wo  rkp  iece  and  linear  erro  r  mo  t  ion  of  the  wo  rk  tab  le  can  be  ob  tained  qu  ick  ly  and  accu  rately.  Mo  reover,  th  is  p  ropo  sed  m  ethod  no  t  on  ly  avo  ids  the  long  compu  t  ing  t  im  e  of  f  requency  dom  ain  th  ree2po  in  t  m  ethod,  w  h  ich  is  due  to  Fou  rier  t  ran  sfo  rm  at  ion  and  inverse  Fou  rier  t  ran  sfo  rm  at  ion,  bu  t  also  is  benef  icial  to  the  on2m  ach  ine  m  easu  rem  en  t  and  real2t  im  e  compen  sat  ion.  A  lso,  the  lim  it  of  p  robe  in  tervals  equaling  to  samp  ling  period  in  sequen  t  ial  th  ree2po  in  t  m  ethod  can  be  overcom  ed.  So  mo  re  in  ten  sive  samp  ling  data  can  be  p  resen  ted,  and  good  separat  ing  p  reci2  sion  can  be  ob  tained.Ke  y  w  o  rds:  unconven  t  ional  sequen  t  ial  fou  r2po  in  t  m  ethod;  sequen  t  ial  th  ree2po  in  t  m  ethod;  f  requencydom  ain  th  ree2po  in  t  m  ethod;  st  raigh  tness  erro  r