差动电容式传感器在智能电子水平仪中的应用

提出了差动式倾角电容传感器在分辨力为0.  001  mm/  m  的智能电子水平仪的应用方案,采用ICL8038  集成芯片作为差动电容电桥的激励电源,使用两片LF398  同时对两路电压进行采样及AD7706  对采样所得信号进行A/  D  转换,并给出了温度和非线性补偿方法要点及实验结果。关键词:  电容式传感器;  智能电子水平仪;  温度补偿;  非线性矫正Abstracts  :  The  application  proposal  of  differential  capacitive  sensor  in  intellectual  electronic  level  gauge  with  resolution  0.  001mm/  m  was  introduced.  It  used  integrated  chip  ICL8038  to  excite  the  differential  capacitor  bridge.  Two  LF398s  was  used  to  sample  two  voltage  signals  simultaneously  and  AD7706  was  used  to  convert  the  sampling  signals  to  digital  signal.Finally  the  key  point  for  temperature  compensation  ,non2linearity  correction  and  experiment  results  were  introduced.Key  words  :  capacitive  sensor  ;  intellectual  electronic  level  gauge  ;  temperature  compensation  ;  non2linearity  correction