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keithley_fourwireresistivity

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标签: 吉时利

吉时利

测量

测量

电阻率

电阻率

半导体材料

半导体材料

                        本文档中为您介绍了4线电阻率测量基础,包括体电阻率和表面电阻。还将介绍导体电阻率的测量、半导体晶圆的四点共线探测、范德堡测试结构和程序、小功率测量,纳米线电阻率和本征半导体材料测量等应用举例。探讨一些测量方法和误差源,包括测试线和接触电阻的校准,电压失调补偿,噪声源消除,测量仪器的选择,建立时间的预留以及防护以降低漏电流。Characterizing  the  Resistivity  ofMaterials  and  Test  StructuresUsing  4-Wire  MethodsMary  Anne  TuptaKeithley  Instruments,  Inc.A    G  R  E  A  T  E  R    M  E  A  S  U  R  E        O  F            C  O  N  F  I  D  E  N  C  E                                          2012  Keithley  Instruments,  Inc. Resistivity  Measurement  Overview  Definition  of  electrical  resistivity  Various  4-wire  resistivity  methods  and  test  structures  Sources  of  measurement  errors  and  ways  to  minimize  them  Key  considerations  for  selecting  appropriate  instrumentation  for  optimal  results.                                                        2012  Keithley  Instruments,  Inc. What  is  the  Electrical  Resistivity  of  a  Material?The  electrical  resistance  of  a  material……  is  a  basic  material  property  defines  how  well  the  material  will  conduct  an  electric……                       

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