基于硅结构的微流体控制系统(μFCs) 是微机电系统(MEMS) 中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状,同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。关 键 词:微机电系统;微流体控制系统;微流体传感器;微型泵;微型阀
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