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MEMS和微系统——设计与制造

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2013-12-10
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标签： MEMS和微系统——设计与制造

MEMS和微系统——设计与制造

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: lark100; 该书讲解微系统的相关知识，列举MEMS及其在制造、通讯、生物等领域的应用，内容包括微系统的设计和封装、器件的材料、微加工工艺等。; 2021-07-05 00:38:04回复

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: tyw; 查看他的其他资源

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