双针表面形貌测量系统的研究

介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能  价格比更高,应用范围更广。该测量系统已投入实用,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是1  mm和10  nm,非接触测量模式下分别是500μm和3  nm。实践证实,该系统使用灵活,可靠性高。关键词:  表面形貌;  接触P非接触测量;  表面特征提取Abstract  :  A  dual2stylus  surface  measurement  instrument  ,  developed  for  the  characterization  of  engineering  sur2  faces  ,  is  presented.  The  instrument  is  of  a  hybrid  type  and  is  capable  of  contact  and  non2contact  measurement  ,  mak2  ing  it  suitable  for  a  wider  range  of  applications.  It  has  an  optical  displacement  sensor  and  a  stylus  displacement  sen2  sor.  For  contact  measurement  ,  the  vertical  measurement  range  and  resolution  of  the  instrument  are  1  mm  and  10  nm  ,  respectively.  For  non2contact  measurement  ,  they  are  500μm  and  3  nm  ,  respectively.  The  instrument  has  been  suc2  cessfully  used  for  several  forensic  applications  ,  demonstrating  its  unique  flexibility  and  high  reliability  as  a  novel  sur2  face  topography  instrument.Key  words  :  Surface  topography  ;  ContactPnon2contact  measurement  ;  Surface  characterization