集成电路中的ESD保护

                        集成电路中的ESD保护第  26  卷第  2  期  电子工艺技术  　　　　　　　　　　　　　　  　　　　　　　　　　　  2005  年  3  月  　  Electronics  Process  Technology95集成电路中的  ESD  保护王　  猛(天津南大强芯半导体芯片设计有限公司  ,天津  　300457  )摘　  要  :  随着科学技术的飞速发展  、  微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂  ,对静电的  (  )  电磁场效应  ,如电磁干扰  EM  I  及电磁兼容性  (  EMC  )  问题越来越重视  。简要介绍静电放电  (  ESD  )  的产生及在集成电路工艺  、  器件中的防护措施  ,并提供了现今流行的保护电路  。  关键词  :  静电放电  ;  保护电路  ;  集成电路  中图分类号  :  TN  4  　　　  文献标识码  :  A  　　　  文章编号  :  1001  -  3474  (  2005  )  02  -  0095  -  03ESD  Protection  of  I  CW  ANG  M  eng  (  T  ian  jin  Nanka  i  Un  iversity,  T  i  an  jin  　300457,  Ch  ina  )  Abstract:W  ith  the  development  of  science  and  technology,  w  ide  app  lication  of  m  icroelectronic  tech2  nology  and  more  comp  lication  of  electromagnetic  enviroment,  the  electromagnetic  effects  of  static  electrici2  ty,  including  EM  I  and  EMC,  are  stressed.  Introduce  generation  of  ESD  and  p  rotective  measur……